Главная — Каталог оборудования

Каталог вакуумного оборудования

Вакуумная установка VacTime DLC-01

Вакуумная установка Vactime DLC-01 специально разработана нашими инженерами для получения PVD-покрытий TiN , TiAlN , TiCN, TiAlCN, CrN, CrTiN, ZrN, AlZrN, AlTiZrN, DLC-покрытий а так же сверхтвердых нанокомпозитных покрытий таких как — TiN-Si3N4-TiSi2 и др.

подробнее

Для испарения металлов используется 2 (два) генератора металлической плазмы с электромагнитной сепарацией плазмы. Для испарения углерода – импульсный генератор углеродной плазмы с круглым катодом. Для испарения диэлектриков установка оснащена лазерным источником. Установка может работать в ручном и автоматическом режиме.

100%-я автоматизация технологического процесса. Безмасленная высоковакуумная откачка (турбомолекулярный насос Leybold MAGW 1300C). Форвакуумный насос Edwards E2M80.

Оставить заявку

Вакуумная установка VacTime DLC-02

Вакуумная установка Vactime DLC-02, это унифицированная установка предназначенная для получения алмазоподобных пленок с подслоем Cr и возможностью синтеза углеродной плазмы с другими материалами . Полная автоматизация откачки и технологического процесса.

подробнее

Возможность самостоятельно создавать рецепты покрытий благодаря удобному интерфейсу оператора.

Состав установки:

Высоковакуумная откачка – турбомолекулярный насос KYKY – 2000.
Форвакуумный насос – ADVAVAC 150-90.
Электро-дуговой испаритель ( 1 шт.) с электромагнитной системой транспортировки плазменного потока.
Магнетрон с поворотной мишенью Angstrom Science Inc.
Импульсный генератор углеродной плазмы.
Высокоэнергетический ионный источник.
Инфракрасный пирометр PYROSPOT DP 10N ( 100 -850 гр. С).
Квадрупольный масспектрометр Exstorr XT300(M)–до 300 а.е.м.
Течеискатель Alcatel ASM 142D.

Оставить заявку

Вакуумная установка VacTime TiN-01

Вакуумная установка Vactime TiN-01 предназначена для получения пленок большой толщины (25-50 мкм) на изделия сложной формы. Полная автоматизация откачки и технологического процесса. Возможность самостоятельно создавать рецепты покрытий.

подробнее

Базовые типы покрытий TiN , TiAlN , CrN, CrTiN, ZrN, AlZrN, AlTiZrN.

Состав установки:

Высоковакуумная откачка – турбомолекулярный насос KYKY – 2000.
Форвакуумный насос – ADVAVAC 150-90.
Электро-дуговые испарители ( 3 шт.) с электромагнитной системой транспортировки плазменного потока.
Инфракрасный пирометр PYROSPOT DP 10N ( 100 -850 гр. С)
Квадрупольный масспектрометр Exstorr XT300(M)–до 300 а.е.м.
Течеискатель Alcatel ASM 142D.

Оставить заявку

Вакуумная установка VTM DENT-01

Вакуумная установка VTM DENT-01 предназначена для нанесения покрытий на металлические зубные протезы в эстетической стоматологии. Возможность получения нитридов и карбонитридов титана (Ti) и циркония (Cr). Полная автоматизация откачки и технологического процесса.

подробнее

Возможность самостоятельно создавать рецепты покрытий благодаря удобному интерфейсу оператора.

Состав базовой установки:

Технологический контроллер Siemens Simatic S7 -1200.
Визуализация – персональный компьютер.
Средства измерения вакуума — датчики вакуума Thyracont, VSP63MV и VSM77D.
Форвакуумный насос – ADVAVAC -40.
Электро-дуговые испарители (2 шт.) с электромагнитной сепарацией плазмы.
Вес – 700 кг.

Оставить заявку

Вакуумная установка VacTime M700

Вакуумная установка Vactime M700 специально разработана для нанесения упрочняющих покрытий на быстрорежущий инструмент. Полная автоматизация откачки и технологического процесса. Возможность самостоятельно создавать рецепты покрытий благодаря удобному интерфейсу оператора.

подробнее

Базовые типы покрытий TiAlN , CrN, CrTiN, ZrN, AlZrN, AlTiZrN.

Состав установки:

Высоковакуумная откачка — турбомолекулярный насос KYKY — 1600.
Форвакуумный насос – EDWARDS E2M80.
Электро-дуговые испарители ( 4 шт.) с системой сканирования катодного пятна.
Инфракрасный пирометр IP-140 ( 100 -700 гр. С)

Оставить заявку

Вакуумная установка VacTime NNV-6.6

Вакуумная установка Vactime NNV-6.6 предназначена для нанесения упрочняющих покрытий на дисковые фрезы диаметром до 350 мм. Полная автоматизация откачки и технологического процесса. Возможность самостоятельно создавать рецепты покрытий благодаря удобному интерфейсу оператора.

подробнее

Базовые типы покрытий TiAl , AlCr, AlZrN.

Состав установки:

Высоковакуумная откачка – паромасляный насос НД-400.
Форвакуумный насос – ADVAVAC-75.
Электро-дуговые испарители ( 3 шт.) с системой сканирования катодного пятна.
Инфракрасный пирометр IP-140 ( 100 -700 гр. С).

Оставить заявку

Вакуумная установка VacTime UPM-E

Вакуумная установка Vactime UPM-E, это унифицированная установка предназначенная для получения алмазоподобных пленок на диэлектрической подложке. Полная автоматизация откачки и технологического процесса. Возможность самостоятельно создавать рецепты покрытий благодаря удобному интерфейсу оператора.

подробнее

Состав базовой установки:

Высоковакуумная откачка – турбомолекулярный насос KYKY – 2000.
Форвакуумный насос – ADVAVAC — 75.
Электро-дуговой испаритель ( 1 шт.) с электромагнитной системой транспортировки плазменного потока.
Импульсный генератор углеродной плазмы 2 шт.
Высокоэнергетический ионный источник.
Инфракрасный пирометр PYROSPOT DP 10N ( 100 -850 гр. С)
Квадрупольный масспектрометр Exstorr XT300(M)–до 300 а.е.м.

Оставить заявку

Вакуумная установка VacTime 1600

Установка вакуумная модели Vactime-1600, предназначена для нанесения декоративных покрытий нитрида титана на нержавеющую сталь вакуумно-плазменным способом. Возможность самостоятельно создавать рецепты покрытий благодаря удобному интерфейсу оператора.

подробнее

Установка может эксплуатироваться в закрытых сухих помещениях промышленных объектов категории 4.2 исполнения УХЛ по ГОСТ 15150-69 при температуре окружающей среды от 17 до 27 С, относительной влажности от 40 до 75% и атмосферном давлении от 96х10 до 10,6х10Па (от 720 до 780 мм рт.ст.).

Оставить заявку

Вакуумная установка VacTime ТМ 860

Вакуумная установка Vactime ТМ 860 предназначена для получения упрочняющих покрытий на режущий инструмент (твердосплав, быстрорез). Возможность проведения в одном технологическом цикле двух различных способов обработки поверхности инструмента (duble variatic). Полная автоматизация откачки и технологического процесса.

подробнее

Базовые типы покрытий TiN , TiAlN , CrN, CrTiN, ZrN, AlZrN, AlTiZrN.

Состав установки:

Высоковакуумная откачка — турбомолекулярный насос KYKY — 2000.
Форвакуумный насос — ADVAVAC 150-90.
Электродуговые испарители (4 шт.) с магнитной системой стабилизации на постоянных магнитах.
Высокочастотный источник индуктивно-связанной плазмы (13,56 МГц) — 1000 Вт.
Инфракрасный пирометр PYROSPOT DP 10N (100 -850 гр. С)
Квадрупольный масспектрометр Exstorr XT300(M)-до 300 а.е.м.
Течеискатель Alcatel ASM 142D.

Оставить заявку

Установка термического отжига VТМ 24

Вакуумная установка VТМ 24 предназначена для отжига и обезгаживания в вакууме лабораторных образцов в научно-иследовательских и опытных целях. Частичная автоматизация откачки и технологического процесса. Простая в использовании с интуитивно понятным управлением и интерфейсом.

подробнее

Состав базовой установки:

Высоковакуумная откачка реализована мощным производительным турбомолекулярным насосом со скоростью откачки до 300 л/с.
Форвакуумный насос — ADVAVAC 10.
Контроль и поддержание температуры осуществляется высокоточным реле-регулятором ТРМ 501.
Контроль давления осуществляется с помощью Thyracont VSM 77D.
Управление установкой осуществляется программируемым реле ОВЕН ПР-200.

Оставить заявку

Установка синтеза графена VTM 23

Установка VacTime Graphen TM23 предназначена для синтеза графена и графеноподобных структур методом химического осаждения из газовой фазы (CVD).

подробнее

Состав установки:

Форвакуумный насос — Leybold Trivac 10D.
Контроль давления осуществляется при помощи емкостного датчика Pfeiffer 362 CMR (Баратрон).
Управление установкой осуществляется технологическим контролером Siemens Simatic S7-1200.
Нагрев и контроль температуры осуществляется термопечью от компании CARBOLITE GERO — ведущего производителя оборудования для термообработки материалов.
Расход газов контролируют расходомеры Alicat MCV-(100…1000)sccm-D-5M

Оставить заявку

Вакуумная установка VacTime М440

Вакуумная установка Vactime М440, это малогабаритная лабораторная установка предназначена для получения тонких пленок методом магнетронного распыления, с предварительной ионно-лучевой очисткой, на подложки размером 100х100 мм.

подробнее

Полная автоматизация откачки и технологического процесса. Возможность самостоятельно создавать рецепты покрытий благодаря удобному интерфейсу оператора.

Состав установки:

Высоковакуумная откачка — турбомолекулярный насос KYKY — FF-100/300E.
Форвакуумный насос – SCROLLVAC – SC5D.
Магнетронный источник (мишень Ш 150 мм).
Многощелевой ионный источник.
Управление на базе Siemens Simatic S7.
Кварцевый измеритель толщины.

Оставить заявку

Вакуумная установка Vactime Roll-to-Roll-190

Вакуумная установка Vactime-Roll-to-Roll-190 предназначена для получения различных функциональных покрытий на рулонные материалы из металлической фольги или полимерной пленки.

Характеристики перемоточного модуля:

— ширина обрабатываемой пленки — до 1200 мм.

— термостатированный барабан (до 350 0 С) – Ø 1200 мм.

подробнее

Состав установки:

Вакуумная камера – диаметр 2000 мм, длинна 1750 мм.
Магнетронные источники, 4 шт.
Вакуумная камера – диаметр 2000 мм, длинна 1750 мм.
— тип магнетрона -цилиндрический, вращающийся, длинна – 1350 мм.
Протяжной ионный источник — 2 шт.

— длинна 1350 мм;

— напряжение анода – 3500 В.

— ток анода – 200 мА.
Высоковакуумная откачка — турбомолекулярный насос FF-250/2000E – 2 шт.
Форвакуумный откачка — LEYVAC LV 140/ ECODRY 40 plus
Вакуумметры — Pfeiffer Vacuum
Источник потенциала смещения – 12 кВт, 300 В
Инфракрасный пирометр PYROSPOT (30 -700 гр. С)

Оставить заявку