Вакуумная установка Vactime – TiN -01 предназначена для получения пленок большой толщины (25-50 мкм) на изделия сложной формы. Полная автоматизация откачки и технологического процесса. Возможность самостоятельно создавать рецепты покрытий благодаря удобному интерфейсу оператора.
      Базовые типы покрытий TiN , TiAlN , CrN, CrTiN, ZrN, AlZrN, AlTiZrN.
Состав установки:
      -Высоковакуумная откачка – турбомолекулярный насос KYKY – 2000.
      -Форвакуумный насос – ADVAVAC 150-90.
      -Электро-дуговые испарители ( 3 шт.) с электромагнитной системой транспортировки плазменного потока.
      -Инфракрасный пирометр PYROSPOT DP 10N ( 100 -850 гр. С)
      -Квадрупольный масспектрометр Exstorr XT300(M)–до 300 а.е.м.
      -Течеискатель Alcatel ASM 142D.