Установка VacTime Graphen TM23 предназначена для синтеза графена и графеноподобных структур методом химического осаждения из газовой фазы (CVD).

            Состав установки:

Форвакуумный насос - Leybold Trivac 10D.
Контроль давления осуществляется при помощи емкостного датчика Pfeiffer 362 CMR (Баратрон).
Управление установкой осуществляется технологическим контролером Siemens Simatic S7-1200.
Нагрев и контроль температуры осуществляется термопечью от компании CARBOLITE GERO - ведущего производителя оборудования для термообработки материалов.
Расход газов контролируют расходомеры Alicat MCV-(100...1000)sccm-D-5M